X射线测厚仪的标定原理
由于 X 射线管产生的 X 射线具有连续能谱,因此并不严格遵守指数减弱规律,而且存在许多不可避免的影响因素如 X 射线源或探测器的电子漂移、 X 射线窗口灰尘的淤积、 X 射线管的老化、 C 形架的变形等,这些因素使得 X 射线的减弱规律每时每刻都在变化。因此不可能直接运用指数减弱规律计算出材料厚度,必须找到一种实用的方法可以修正这些难以预测和计算的因素对测量精度造成的影响。


于是人们发明了标定的方法,通过曲线拟合直接建立厚度与探测器信号的函数关系;通过标定对目标厚度的测量值进行预先修正;通过实验和理论相结合的方法计算出补偿系数对材料合金、温度、通过线高度等影响进行修正,这样就可以最终得出高精度的厚度测量值。



