X射线测厚仪刻度校正分析

X射线测厚仪刻度校正分析

X射线测厚仪在冶金行业板带材生产的厚度质量控制中得到广泛使用，其测量控 制精度的高低将直接影响产品的质量等级。当x射线穿过被测物质时，射线与物 质的相互作用使透射射线强度减弱，当其他条件固定时，透射射线强度由被测物质厚度唯一决定，若已知射线的衰减规律，通过测量透射射线强度即可得到被测 物质厚度，这即是X射线测厚的基本原理。

当射线为单能窄束时，射线衰减遵循指数定律，但X射线能量具有一定的范 围分布，在实际测量系统中也不满足窄束测量条件，所以射线强度随被测物质厚度的变化并不遵循指数衰减规律。因此，在实用中通常需先测量若干厚度已知的标定片进行标定，再通过拟合或插值等方法得到射线强度与被测板材厚度的关系，这种方法的精度取决于标准片的厚度间距当采用足够多的标准片使厚度间距足够小时，测量就能达到很高的精度。

大多数X射线测厚仪采用了分段多项式拟合的方法进行厚度刻度校正。但 刻度校正过程中需较多的标定点，产品空间及特点不能安装很多的标准片，因此我们改进设备，增加了标样控制系统。根据不同测量范围，我们X射线测厚仪内部置入5-11片的不同厚度的样片，他们可以根据测量要求组合成不同的厚度来满足标定和测量。