x射线测厚仪标定和校准功能介绍
标定
标定就是实现曲线拟合的过程,在测量前对一系列的标准样片组合进行标定,由此可以得到一系列标定点,由电压值与厚度值组成。根据上述的曲线拟合方法对这些点进行曲线拟合,测量时就可以根据这条曲线进行定值。标定时,在一个厚度点上尽量选择同一块标准样板,这样可以减少由于标准样板厚度精度不高引起的误差。

校准
在测量过程中,X射线测厚仪有可能随着环境的变化和时间的推移使测量结果产生漂移,产生漂移的原因有:
(1)x射线电源不稳定产生的漂移;
(2)电离室由于密封或绝缘不好导致的漂移;
(3)放大器不稳定产生的漂移;
(4)电离室窗口积累的油渍太多等多种原因。

为了防止漂移带来的测量误差,一般测厚仪每隔8 h进行一次校准。校准的方式有两种,分别是全标定和单点校正。全标定需要的时间比较长,但校准的效果比较好。单点校正需要的时间短,但效果没有前者好。

全标定过程其实就是上述曲线拟合的过程,只不过是标定的点数不一样。单点校正具体做法是测量离测量厚度较近的标准样片的厚度,把现在的测量值与以前测量的值相比较,根据这个差值对测量曲线进行平移。平移后的曲线就是校正
x射线测厚仪的精度与稳定性不仅与射线的稳定性有关,而且与信号处理方法有关。定期的维护保养是测厚仪稳定运行的前提。



