​X射线荧光镀层测厚仪的计量特性

X射线荧光镀层测厚仪的计量特性

X射线荧光镀层测厚仪有3项重要计量特性(重复性 、示值漂移 、示值误差 )的检测方法 。我们来简单了解一下： 

1．厚度测量重复性

在仪器的有效测量范围内选取一个厚度标准块(片 )，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处 ，厚度标准块(片)材料的选用与仪器实际测量应用相一致 。调用相应测量程序，重复测量该厚度标准块(片)10次 。记录仪器测量显示值 ，计算实验标准偏差 ，实验标准偏差除以仪器10次测量算术平均值的百分数作 为仪器厚度测量重复性 。

2．示值漂移

选用一块厚度标准块(片)，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处在1小时内 ，每隔15分钟测量一组并记录仪器读数，每组测量10次 。取其平均值作为 该组测量结果，共测量5组 ．5组测量结果中最大最小差值除以厚度标准块(片)的实际厚度值的百分数即为仪器的示值稳定性

3．厚度测量示值误差

首先进行仪器 基准光谱的标定 ，再按仪器实际应用范围，选取相应材料的1～5个标准厚度标准块 ，分别对每个厚度标准块重复测量3次并记录仪器示值 ．计算算术平均值作为该点位的测量结果 ．各点位的算术平均值与厚度标准 块的实际值的差值 ．即为该点位的示值误差。