X 射线测厚仪常见故障分析处理
当 X 射线测厚仪发生故障时，首先通过对各种声音的辨别，来寻找故障源的位置。检查测厚仪的启动是否符合测量要求；其次观察测厚仪上是否有任何示错信息，也察看最近的如从射线源电源和监控装置（ SPSMU ）上测厚仪读数，不能很容易发现故障的原因，则将需要检查测厚仪的功能。一是检查测厚仪是否将能够成功完成一次校准，并检查在校准页画面中的信息是否正确；二是检查测厚仪在有和没有补偿的情况下，对所要求的名义厚度，是否能够成功完成一次调零；三是如果测厚仪已经完成一次校准，则尝试使用和调零相同的数值，进行一次读人操作；四是如果上面的测试已经成功完成，则可能要测厚仪对其内部校准样品进行一次测量。应在没有补偿（例如，温度补偿或者合金补偿）的情况下，对样品进行测量（应使高温计不起作用）。如果上面的检查失败，或者没有发现故障，则检查模拟量输人输出页画面（例如，偏差输出、电源数值）和数字量输人／输出页商面（例如，自动快门、测量），可能会对査找故障有所帮助。不需要对测厚仪中已经被证实工作正常的部分进行检查。当故障源被发现，则观察所有点亮的灯，是否应该点亮， X 射线的启动和射线源电源和监控装置（ SPSMU ）上测厚仪读数是否正确。
X 射线测厚仪有五个区域可能会发生故障：一是由计算机或者操作者造成的一次不良启动；二是测厚仪软件；三是 X 射线源及其激励电路或者其他部件；四是探头及其电路；五是模拟量或者数字量的输人和输出端口。针对上述五方面这里也有四种主要手段，来査找发生故障的故障源的位置：一是显示在控制画面上的示错信息。二是前面板的测厚仪读数；三是测厚仪功能测试；四是模拟量和数字量的输人／输出画面。处理实际故障时需结合实际情况，应具体分析具体对待。
