在实际测量中影响X射线测厚仪的因素很多，为了使测量值更接近真实值，除了要避免一些错误操作外，还要对X射线测厚仪进行校正。针对不同的影响因素，提出了不同的校正方法
１．在线校正
X射线强度不稳定对X射线测厚仪的测量精度影响很大，受到双通道X射线测厚仪的启发，提出了在线校正的方法来实时修正X射线强度的变化。较单纯用来测量厚度的测厚仪来说，带有在线校正功能的X射线测厚仪的系统组成包含有X射线束分割器及两套X射线探测器及其检测电路等装置。所谓在线实时校正就是在实时测量时，通过副射线探测器及其检测电路来实时检测射线束强度的变化，为测量用的主射线探测器及其检测电路提供实时修正系数。
２．合金补偿
由X射线衰减规律知道X射线的衰减不仅与X射线管电压与管电流有关，还与被照射物质的原子序数有关系，合金成分不同，最终导致X射线的衰减系数不同。在装有标样箱的X射线测厚仪中， 标准板与待测带材的合金成分显然不同，若直接利用标准板标定的曲线对待测带材的厚度进行测量，会造成严重的误差。为了减小误差，需要对X射线测厚仪进行合金补偿。应用在X射线测厚仪中的合金补偿方法主要有两种：一种是通过计算获得，既根据合金中每种元素的质量百分比计算合金的总补偿系数；另一种为实际测量，利用少量该种合金的标准板进行补偿。具体补偿过程为：（１）获取现有标准板的每一个厚度值及对应的电压值；（2）利用获取的电压值带入测量曲线计算测量电压值对应的理论中的厚度值；（３）实际厚度值与理论厚度值相比，建立厚度一补偿系数表；（４）设置目标厚度值；（５）系统根据输入的目标厚度值，利用建立的厚度一补偿系数表，使用插值法获取目标厚度的补偿系数。实测法适用于待测带材的厚度与标准板的厚度非常接近的点，在此处测厚仪的测量精度最高，离标准板厚度越远的点测量精度越低。
３．通过位置高度补偿及其它补偿方法
如果在标定时不使用标样箱中的标准板，则可以避免通过位置高度差给测量结果带来的误差，此时只需要将外部标准板放在测量时待测带材通过的位置高度进行标定即可。另外还可以通过角度补偿及温度补偿等校正方法，
